半導體無塵車間工作制度       上海

一、步入無塵車間前期準備工作

1、進入無塵車間前，必須經過凈化工程公司專業培訓。

2、進入無塵車間嚴禁吸煙，飲食，外來雜物不可攜入。

3、進入無塵室前，需在規定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內，外衣置于衣柜內，私人物品置于私人柜內，柜內不可放置食物。

4、進入無塵室須先在更衣室，將口罩，無塵帽，無塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊，再經空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯（洗塵室地板上）方得進入。

5、戴口罩時，應將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時污染芯片。

6、穿著無塵衣，無塵帽前應先整理服裝以及頭發。

7、整理儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則：

（1）頭發必須完全覆蓋在帽內，不得外露。

（2）無塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。

8、無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態，無塵衣不可反穿。

9、穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實蓋在褲管之上。

10、戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處（防止鈉離子污染），戴上手套后，應將手套之手腕置于衣袖內，以隔絕污染源。

11、無塵衣著妥后，經洗塵，并踩踏除塵毯，方得進入無塵室。

12、不論進入或離開無塵室，須按規定在更衣室脫無塵衣，不可在其它區域為之，尤不可在無塵室內邊走邊脫。

13、無塵衣、鞋套等，應定期清洗，有破損，脫線時，應即換新。

14、脫下無塵衣時，其順序與穿著時相反。

15、脫下之無塵衣應吊好，并放于更衣室內上層柜子中；鞋套應放置于吊好的無塵衣下方。

16、更衣室內小柜中，除了放置無塵衣等規定物品外，不得放置其它物品。

17、除規定紙張及物品外，其它物品一概不得攜入無塵室。

18、無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置于規定處所。

19、口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。

20、任何東西進入無塵室，必須用灑精擦拭干凈。

21、任何設備的進入通知管理人，在無塵室外擦拭干凈，方可進入。

22、未通過考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當處理，例如關閉水、電、氣體等開關。

23、無塵室內不可動火，以免發生意外。

二、無塵室操作須知

1、處理芯片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過的芯片須經清洗，方得繼續使用。

（1）任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。

（2）芯片清洗后進行下一程序前，若被手指碰觸過，必須重新清洗。

（3）把芯片放置于石英舟上，準備進爐管時，若發現所用鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。

2、芯片必須放置盒中，蓋起來存放于規定位置，盡可能不讓它暴露。

3、避免在芯片上談話，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進擴散爐前，要特別注意，防止上述動作產生。

4、從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上，取出芯片時，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。

5、芯片上，若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用刀在芯片上刻記。

6、操作時，不論是否戴上手套，手絕不能放進清洗水槽。

7、使用化學站或烤箱處理芯片時，務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內，不可使用塑料盒。

8、擺置芯片于石英舟時，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然后再進氧化爐。

9、請勿觸摸芯片盒內部，如被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。

10、手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置于操作臺，手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。

11、非經指示，絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。

12、奇怪的味道或反應異常的溶液，顏色，聲響等請即通知相關人員。

13、儀器因操作錯誤而有任何損壞時，立刻告知負責人員。

14、芯片盒進出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進入。

15、無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄。

三、黃光區操作須知

1、濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區應注意溫度及濕度，并應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。

2、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區以免感光。

3、已上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應放置于不透明之藍黑色晶盒之內，盒蓋必須蓋妥。

4、光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷。

5、曝光時，應避免用眼睛直視曝光機汞燈。

四、鑷子使用須知

1、進入實驗室后，應先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。

2、唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。

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